Plasmas Froids Réactivité en volume et en surface

---

Ce livre a été réalisé suite aux présentations effectués lors des Journées d'échanges du Réseau Plasmas Froids qui se sont déroulées à Bonascre (Ariège) en octobre 2002 et 2003. Le lecteur trouvera des exposés systématiquement mais aussi des illustrations et une introduction par l'exemple à la réactivité chimique, aussi bien dans le volume du plasma qu'au niveau des surfaces en contact avec le gaz ionisé. Cet ouvrage aborde tous les plasmas froids: naturels, thermiques, hors équilibre, générés par laser, ... et traite de la formation de couches minces et d'aérosols par plasma. Les processus élémentaires sont décrits ainsi que les outils de diagnostics des surfaces. Un accent particulier est mis sur des techniques performantes et récemment développées comme l'ellipsométrie infrarouge et la réflectivité de rayons X. En ce qui concerne le diagnostique du gaz, seule l'absorption infra-rouge est présentée car les autres méthodes font partie du volume de cette collection intitulée "Plasmas froids, Génération, Caractérisation et Technologie". Compte tenu de l'ampleur du domaine, cet ouvrage, écrit en Français, doit être considéré comme aune aide pour acquérir les principes de base, trouver les références les plus pertinentes, se familiariser avec un réacteur ou un outil de diagnostic. Il s'adresse donc autant aux étudiants qu'aux chercheurs, techniciens et ingénieurs confirmés qui abordent une nouvelle facette du domaine des plasmas froids.

I – Réactivité en volume

I-1 - Cinétique en volume dans les décharges azote-oxygène (M. Touzeau)
I-2 - Simulation en laboratoire de la production d'analogues d'aérosols organiques de l'atmosphère de titan par plasma RF (G. Cernogora, C. Szopa, P. Coll, L. Boufendi)
I-3 - Utilisation des diodes laser infrarouge pour les plasmas (A. Rousseau)
II – Traitement de surface par les plasmas

II-1 - Mécanismes élémentaires d'interaction particules-surfaces (P. Brault)
II-2 - Interaction plasma d'arc - surface pour l'obtention de dépôt: influence de la réactivité, des interfaces, de la micro et nano-structure sur les propriétés mécaniques (A. Denoirjean)
II-3 - Interaction Laser - Silicium (J. Boulmer, D. Débarre, T. Sarnet, G. Kerrien, M. Hernandez)
II-4 - Saturation optique et autres pièges en spectroscopie laser (N. Sadeghi)
II-5 - Dépôts de couches minces de silicium par voie plasma RF (P. Roca. i Cabarrocas)
III – Caractérisation des surfaces

III-1 - Introduction aux techniques d'analyse de surface (C. Cardinaud, A. Goulet, T. Minea)
III-2 - Ellipsométrie infrarouge à modulation de phase. Principes et applications (E. Garcia-Caurel, B. Drévillon)
III-3 - Réflectométrie de Rayons-X (A. Van der Lee)