Plasmas froids Interactions Plasma-Surface : Modèles, Diagnostics et Procédés

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Ce livre fait suite aux Journées d’échange 2009 du Réseau Plasmas Froids
de la Mission des Ressources et Compétences Technologiques (MRCT) du
CNRS. Il complète une série de six ouvrages sur les plasmas froids et met
l’accent sur les aspects liés à l’interaction avec les surfaces. Le lecteur
trouvera des exposés sur la modélisation, les diagnostics et les
applications de ces interactions plasma – surfaces.

Cet ouvrage, écrit en français, est avant tout une aide pour acquérir les
principes élémentaires qui prévalent dans ce domaine fortement
pluridisciplinaire que sont les plasmas froids. Il constitue aussi une base
de références pertinentes auxquelles le lecteur pourra se reporter pour
approfondir les sujets abordés. Il s’adresse tout autant aux étudiants
qu’aux différents acteurs de la recherche qui souhaitent découvrir un
nouvel aspect des plasmas froids.

I - MODELISATION ........................................11

I-1. Dynamique moléculaire pour des nanocristaux de Si dans les plasmas froids – effet de la
température
(H.-C. Weissker, N. Ning et H. Vach) ........................................13
I-2. Modélisation de la croissance de couches minces
(A. Dollet)........................................ 29
I-3. Approches de modélisation de gravure des matériaux par plasma froid
(A. Rhallabi) ........................................ 99
I-4. Modélisation des transferts en projection thermique
(D. Gobin, A. Vardelle)........................................127

II - DIAGNOSTICS........................................141
II-1. Application des spectroscopies infrarouges de réflexion à l’analyse des surfaces
(B. Desbat)........................................143
II-2. Analyse par spectrométrie de masse de produits d’interaction plasma-surface
(C. Cardinaud) ........................................155

III - PROCEDES........................................183
III-1. Interaction ion/surface en PACVD basse fréquence du TMS
(A. Soum-Glaude, L. Thomas, A. Dollet, J.-M. Badie, C. Picard, J. Capeillere, G. Rambaud) ........185
III-2. Contrôle des dépôts obtenus par PECVD en mélange O2/ HMDSO grâce aux plasmas
pulsés
(A. Bousquet, A. Goullet, A. Granier) ........................................211
III-3. Plasma et couches minces nanocomposites, multicouches, avec insertion de particules,
texturées, poreuses
(J. Durand)........................................235
III-4. Interaction plasma thermique-surface de poudre : application à la purification du silicium
métallurgique
(M. Benmansour, D. Morvan) ........................................263
III-5. Effet des lasers sur les surfaces avant projection thermique
(S. Costil) ........................................313
III-6. Science des surfaces en métallurgie : vers de nouveaux outils pour la compréhension
des interactions plasma-surface
(T. Duguet, J.-M. Dubois, V. Fournée, T. Belmonte)........................................335